LNF ICTS

Espectrómetro de Masas SIMS

Hiden Analytical con cañones de O₂, Ar y Cs

Espectrómetro de Masas SIMS

Descripción del Equipo

Equipo de espectroscopía de masas de iones secundarios de Hiden Analytical. Se utilizan iones primarios de O₂ ó Ar con una energía de hasta 5 keV.

Permite realizar espectros de masas (1 a 550 uma), perfiles en profundidad y SIMS estático. El sistema se puede emplear también para mapas de composición e incorpora un cañón de electrones para experimentos de SIMS en materiales aislantes.

Cañón de Iones de Cesio y Características Técnicas

Para la detección de iones electronegativos se utiliza un cañón de iones de Cs, con una energía máxima de 5 keV. Esta configuración permite el análisis de elementos con alta afinidad electrónica, mejorando significativamente la sensibilidad para la detección de especies negativas.

  • Rango de masas1 – 550 uma
  • Energía iones O₂/Arhasta 5 keV
  • Energía iones Cshasta 5 keV
  • Modos de análisisEstático y dinámico
  • CapacidadesEspectros, perfiles, mapas
  • MaterialesConductores y aislantes
  • Cañón electronesPara materiales aislantes

Financiación

El equipo Hiden SIMS Workstation ha sido cofinanciado por el CEI Campus de Moncloa (Resolución del 23 de Marzo de 2011), fue concedido al IFN_UPM, y se encuentra en préstamo en el LNF_CIEMAT.

Aplicaciones Principales

Este equipo es fundamental para el análisis de composición superficial y en profundidad de materiales, permitiendo la detección de impurezas, dopantes y elementos traza con alta sensibilidad. Es especialmente útil para el estudio de semiconductores, materiales funcionales, recubrimientos y superficies modificadas.

La capacidad de realizar mapas de composición lo convierte en una herramienta esencial para la caracterización microestructural de materiales avanzados, proporcionando información espacial detallada sobre la distribución de elementos y la estructura de los materiales.

Espectro de masas: Identificación rápida de especies e impurezas en superficie. Coste 75.84 €

Perfil de masas en profundidad: Distribución de elementos en función de la profundidad. Coste 92,36 €