LNF ICTS

Microscopio Confocal/Interferométrico

Sensofar S Neox con microscopía confocal e interferometría

Microscopio Confocal

Descripción del Equipo

El microscopio confocal Sensofar S Neox es un sistema óptico de alta precisión que combina tres tecnologías complementarias: microscopía confocal, interferometría de luz blanca y perfilometría óptica.

Este equipo permite realizar mediciones topográficas de superficies con resolución nanométrica, análisis de rugosidad, caracterización de texturas y evaluación dimensional de microestructuras de manera no destructiva.

Capacidades Principales

  • Resolución verticalhasta 0.01 nm (interferometría)
  • Resolución lateralhasta 140 nm (confocal)
  • Objetivos2.5x, 5x, 10x, 20x, 50x, 100x, 150x
  • Campo de mediciónhasta 18 x 18 mm
  • Rango de medición Zhasta 10 mm
  • Modos de mediciónConfocal, Interferometría, Perfilometría
  • Tipo de análisisRugosidad, topografía, dimensiones

Técnicas de Medición

Microscopía Confocal

Ideal para superficies rugosas, proporcionando imágenes topográficas 3D con alta resolución lateral. Permite caracterizar texturas y patrones con escalas de rugosidad desde nanómetros hasta milímetros.

Interferometría

Técnica de máxima precisión para superficies lisas y reflectantes. Proporciona resolución vertical subnanométrica, ideal para la caracterización de superficies pulidas y capas delgadas.

Aplicaciones Principales

Este equipo es fundamental para la caracterización superficial de materiales en diversas áreas: materiales para fusión nuclear, recubrimientos funcionales, componentes micromecánicos, dispositivos ópticos y semiconductores.

Permite el análisis de parámetros de rugosidad (Ra, Rq, Rz, etc.), medición de espesores de capas, caracterización de defectos superficiales, análisis de desgaste y evaluación de procesos de fabricación. La capacidad de realizar mediciones sin contacto evita daños en muestras delicadas.

Coste uso